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本应用说明介绍了一种利用Agilent 7500cs ICP-MS测量光伏级硅中超痕量元素杂质的新定量方法。在样品预处理阶段特别注意了对硼（易挥发元素）和磷（受Si基干扰）的分析，这对行业来说极为重要。所有元素的良好回收结果验证了样品制备策略。列出了13种不同Si样品中存在的一系列元素的示例数据，以及检测限列表。在固体中B和P可以测定到低ppb水平，其他研究的元素可以测定到ppt水平。