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本文档介绍了Agilent Technologies' Scanning Microwave Microscope (SMM)，这是一款新的扫描探针显微镜 (SPM)，它结合了微波矢量网络分析仪 (VNA) 的无线电波测量能力和原子力显微镜 (AFM) 的纳米分辨率和埃计量级定位能力。Agilent VNAs 是成熟的、高度复杂的特性分析仪器，可进行精确、校准的复数比率测量。这款测量能力，可将 AFM 尖端转换为 SMM 唯一的 SPM，从而能够进行电气特性的校准和可追溯测量，如阻抗和电容，具有高空间分辨率。