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VCD系列阀门采用紧凑型设计，具有最小的死角。阀体材料符合SEMI F-20标准，适用于超高纯度半导体制造应用。VCD系列阀门具有最大的流通能力，最小的颗粒产生，最小的水分、氧气和碳氢化合物含量，以及优异的表面光洁度。