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更新: 07 November, 2023
MSPD**-ASO系列微型硅压力传感芯片，可以提供精确的、与外界感测压力线性相关的电压输出。该系列芯片产品采用敏芯最新的SENSA®工艺。在硅薄膜上沉积微型压阻，利用其压阻效应感应压力导致的硅薄膜形变，以间接地精确测量外界压力。
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MD5: 9A88B895A3E1DF2EC2249677CCAB17A7
发布时间: 07 November, 2023
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连接: MSPD**-ASO系列低成本、未补偿微型硅压力传感器芯片数据手册 PDF