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更新: 16 October, 2023
说明了如何使用Helix Technology Corporation的On-Board Cryopump Helium Circuit Decontamination Kit P/N 8080250K003清除On-Board Cryopump氦回路中的气体污染物。
文件格式: PDF
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MD5: 8BC64A946757544404C6819DCD42AF12
发布时间: 16 October, 2023
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连接: On-Board Cryopump Helium Circuit Decontamination Instructions PDF