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该文档介绍了一种用于制造微型压电传感器的微流控工艺。该工艺利用电泳沉积和随后的热氧化工艺来制造微流控芯片，其表面具有由碳纳米管和金电极组成的压电传感器阵列。该工艺可实现快速、大规模和低成本生产微型压电传感器。