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更新: 29 September, 2023
该文件介绍了XR 63、XR 64和XR 65三种型号的压力调节阀的特点和性能。XR 63适用于低压、小流量的工艺条件，具有瞬时压力降低小、稳定性强的特点；XR 64适用于中流量的半导体制造工艺，体积相对较小；XR 65适用于大流量的各种工艺气体，采用了特殊的净化处理。三种型号的压力调节阀均具有流量特性稳定、操作平滑、测量精确等特点。
文件格式: PDF
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MD5: 8315FEB25E955265F4D763B8427CED28
发布时间: 21 February, 2012
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连接: Model XR 63・64・65 Pressure Regulators 说明书 PDF