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Model XR67 Pressure Regulator (For medium flow rate) 说明书

本文档介绍了一种用于半导体制造过程中的流体测量设备。该设备适用于各种工艺气体，并在正常工作条件下使用，不会引发火灾或爆炸。具有高压和低压两种规格，最大流量分别为200L/min和100L/min。接口为1/4和3/8，使用温度范围为-5℃至40℃，保存温度范围为-5℃至50℃。关于材料和表面处理方面，该设备采用了耐腐蚀材料和特殊的表面处理技术，确保高品质和超净化。

Model ZT30 Electronic Pressure Switch 说明书

ZT30电子式压力开关是科华工控生产的一款电子式压力开关，具有数字设置、压力显示功能，采用超清洁(UC)处理技术，耐腐蚀性、耐久性、稳定性优异。

Model KJ95 Intrinsic Safety Construction Pressure Transnitter 说明书(1)(1)

本文档介绍了一种半导体产业用的本质安全防爆结构压力变送器，具有爆炸性气体使用的能力和高纯度气体的适用性。该产品采用蒸发形半导体应变片作为感压部件，具有耐久性和稳定性，并且死区非常小。此外，它还具有超洁净处理和优异的电气可靠性。

Model ZT77 Digital Pressure Gauge 说明书

本文档介绍了ZT77小型数字压力计的特点和性能。该压力计采用半导体应变片和专用混合IC，具有耐久性和稳定性。其接口表面具有亚微米级的粗糙度，抑制了颗粒物的生成。该压力计具有高速数字比较器等功能。它具有±1.0％F.S.的显示精度和±0.1％F.S./℃的温度系数。它可以通过LED显示和模拟输出进行操作。此外，它还具有UL94-V0级别的变性聚苯醚醚树脂外壳，以及超过0.1μm的颗粒物不计数的特点。

Model KJ95 Intrinsic Safety Construction Pressure Transnitter 说明书(1)

本质安全防爆压力变送器KJ95是纳矿机械针对半导体行业的特殊要求，在保证防爆安全的前提下，从工艺、结构、材料、设计、制造、装配、检验等各环节严格把关，确保产品的优良品质。产品的特点是：耐久性、稳定性、精确性极高，气密性、安全性优异，可满足高纯度气体的使用要求。

Model KJ96 Intrinsically Safe Explosion-Proof Construction Pressure Transmitter 说明书

本文档介绍了一款半导体行业用的本质安全防爆构造压力传感器，具有高耐腐蚀性和耐久性，并且适用于存在爆炸性气体的场所。该传感器具有特殊的连接和接触气体部件，适用于半导体领域。

Model ZT60 Digital Pressure Gauge 说明书(1)(1)

ZT60 数字压力计是半导体行业的数字压力计，具有耐久性和稳定性，采用半导体应变计，配备比较器输出、模拟输出和循环检查功能，可进行可靠的测量。

Model ZT60 Digital Pressure Gauge 说明书(1)

该文件介绍了一款半导体産業用的数字压力计，它采用了耐用性和稳定性有实绩的半导体应变计，具有多种智能功能，如比较器输出、模拟输出和回路检测功能等，可提供可靠的测量。传感器部分采用Co-Ni合金，接头部分采用SUS316L，具有优良的耐腐蚀性能。显示部分采用明亮、清晰的大型4位LED显示屏，可选择垂直或水平显示。具备回路检测功能，可实现检修工作的自动化，同时具备标度调整和零点校准功能，无需繁琐的调整。安装方式有水平安装和垂直安装两种选择，接头种类丰富。